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高纯金属有机化合物(MO源)

  • 申请号： 申请公布号：
  • 申请日： 申请公布日： 2017-01-17
  • 申请（专利权）人：BI493375557 专利代理机构：
  • 分类号：

专利介绍

已研制出20多个品种的MO源新材料，材料总体水平达到或接近世界先进水平，支撑了国内MOCVD技术研究和生产用源，部分产品已实现产业化。实现了我国在该领域零的突破，产品质量达到国际先进水平。

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